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在线薄膜测量系统

ETMapSys是针对高端纳米薄膜研发和质量控制领域中大面积样品检测专门设计的在线薄膜测量系统。 ETMapSys用于对1.4m * 1.1m及以上的大面积样品进行在线检测。可测量光滑平面基底上的纳米... ...

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在线椭偏测量系统(镀膜机专用)

ETInLineSys是根据镀膜机在线高测量要求,专门研发的椭偏测量系统,在此系统中,椭偏测量部件与镀膜机集成为一体。 ETInLineSys可用于真空热蒸发镀膜机、离子溅射镀膜机、原子层沉... ...

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快速摄谱式 自动变角度光谱椭偏仪

ES01是针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高全自动光谱椭偏仪,系列仪器的波长范围覆盖紫外、可见到红外。 ES01系列光谱椭偏仪用于测量单层和多层纳米薄膜的层构参数(如,厚度)和... ...

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快速摄谱式 多入射角光谱椭偏仪

ES03是针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高多入射角光谱椭偏仪,仪器波长范围从紫外到近红外。 ES03多入射角光谱椭偏仪用于测量单层和多层纳米薄膜的层构参数(如,厚度)和物理参... ...

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型多入射角激光椭偏仪

EMPro是针对高端研发和质量控制领域推出的型多入射角激光椭偏仪。 EMPro可在单入射角度或多入射角度下进行高、高准确性测量。可用于测量单层或多层纳米薄膜样品的膜层厚度、折... ...

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精致型多入射角激光椭偏仪

EM12是采用量拓科技先进的测量技术,针对中端需求的研发和质量控制领域推出的精致型多入射角激光椭偏仪。 EM12可在单入射角度或多入射角度下对样品进行准确测量。可用于测量单层... ...

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